专利号：CN115808132A
专利名称：一种深度检测装置及方法
申请日：2022/12/1
专利类型：发明申请
战略新兴产业分类：新材料相关服务
项目详情：一种深度检测装置及方法，属于光学检测技术领域，本发明在谱域干涉技术中引入了光谱共焦技术，采用分段测量方式，根据光谱共焦技术确定每个参考臂的偏移量并进行补偿，在不影响分辨率的情况下，实现纵向测量范围的增大。本发明在应用时，在每个探测点只需测量一次，有效提高了测量速度，适用于运动样品的测量。本发明针对色差效应需要线宽较大的光源而造成谱域干涉的深度测量范围较小的矛盾，在引入四参考臂用以增大检测深度的同时，为了消除谱域干涉四参考臂之间的干扰，首先利用色差技术确定低精度深度值，并确定参与干涉的参考臂，然后利用谱域干涉技术计算高精度深度相对值，并对谱域干涉的结果进行偏移量补偿，进而得到精确深度信息。
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