专利号：CN115839672A
专利名称：一种光学移相干涉检测装置及方法
申请日：2022/12/19
专利类型：发明申请
战略新兴产业分类：新材料相关服务
项目详情：本发明提供一种光学移相干涉检测装置及方法，涉及光学检测技术领域。本发明光学移相干涉检测装置包括一个移相干涉系统和一个谱域干涉系统，使用移动平台使参考镜或样品产生微小随机位移，给参考光和样品光引入随机变化的相移量，同时使用谱域干涉系统检测移相干涉系统中参考镜或样品的整体振动及随机相移量，使用获取的相移量计算样品表面的光程差，得到样品的表面形貌。
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