专利号：CN113654482A
专利名称：一种基于色差和谱域干涉的光学3D成像装置及方法
申请日：2021-08-30
专利类型：发明申请
战略新兴产业分类： 新材料相关服务
项目详情：本发明公开一种基于色差和谱域干涉的光学3D成像装置及方法，涉及光学干涉检测技术领域。该装置包括宽带光源，光源出射光入射第一透镜；第一透镜出射平行光入射分光装置；分光装置出射参考光和样品光；样品光依次经过第三透镜和第四透镜入射扫描振镜后经第五透镜以不同焦点聚焦在样品的不同深度层面上；参考光入射光栅，从光栅出射不同波长的参考光通过第二透镜聚焦反射镜表面；在第二透镜和反射镜之间设置三角形透光体；经反射镜反射的参考光和经样品的不同深度层面反射的样品光均进入分光装置后，再进入光谱仪中形成干涉光谱；光谱仪与扫描振镜均与计算机相连。实现了高纵向分辨率、高横向分辨率、大景深、大可测量角度，提高了解调精度。
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